
Phenom ProX
Microscopio electrónico de barrido (SEM) de mesada
Sistema “todo-en-uno” que permite realizar tanto tomas de imágenes como análisis por rayos X para aplicaciones en la escala submicrónica
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Descripción
Generación 5
El microscopio electrónico de barrido (SEM) Phenom ProX se basa en la plataforma SEM de mesada de 5ª generación de Phenom y es un SEM de alto rendimiento para imágenes y análisis. Con el Phenom ProX, las estructuras de las muestras se pueden examinar físicamente y determinar su composición elemental. Además del análisis de puntos, el software opcional de mapeo elemental permite un análisis más detallado de la distribución de los elementos.
Los microscopios Phenom SEM son intuitivos para usar y rápidos para entregar resultados y construidos con estándares de alta calidad. En comparación con sus predecesores, el Generation 5 Phenom ProX tiene una resolución al menos un 20% mejor y cubre una gama más amplia de aplicaciones, incluyendo muestras que son muy sensibles al daño del haz.
El Phenom ProX, microscopio electrónico de barrido (SEM) de mesada, es un sistema “todo-en-uno” que permite realizar tanto tomas de imágenes como análisis por rayos X.
Con este poderoso instrumento, se puede examinar físicamente la estructura de la muestra y determinar su composición elemental.
Más allá del análisis puntal, el programa opcional de mapeo y barrido lineal elemental permite un mejor análisis de la distribución de los elementos dentro de la muestra.
Características
Beneficios
Todos los productos desarrollados por Phenom-World son fáciles de utilizar, rápidos para arrojar resultados, y diseñados según estándares de la más alta calidad. Sobre estos principios se ha basado el desarrollo y la creación del sistema de espectroscopía Phenom ProX, el mejor en su clase para la toma de imágenes y el análisis por rayos X.
Además de visualizar imágenes tridimensionales de estructuras microscópicas, a menudo se necesita identificar los diferentes elementos químicos presentes en una muestra o espécimen. En el mundo del Phenom ProX, esto se logra por medio de un paquete de software para la identificación de elementos (EID) y un espectrómetro dispersivo en energía (Energy Dispersive Spectrometer, EDS) especialmente diseñado y totalmente integrado.
El Phenom ProX es la mejor solución para completar tomas de imágenes y análisis por rayos X de manera fácil y rápida. Esto se refuerza con un portamuestra adicional que permite enfriar e inclinar la muestra y así permitir el análisis por imágenes de una mayor diversidad de muestras.
Detección EDS
Para controlar el detector EDS integrado en el sistema, en la PC Pro Suite viene incluido e instalado un paquete de software específico. De este modo, el análisis resulta tan sencillo como la toma de imágenes, ya que no se necesita alternar entre paquetes de software externos o entre computadoras. La técnica EDS analiza los rayos X generados por los electrones del rayo al interactuar con la muestra. La fuente de electrones Phenom CeB6 genera la mayor cantidad de rayos X en el segmento de mercado.
Mediante el modo de análisis puntual, el paquete de software permite identificar cualquier elemento escondido en la muestra. Todos los resultados son verificados utilizando una deconvolución extractiva iterativa del pico. El proceso guiado paso a paso en el software ayuda a obtener todos los resultados de rayos X de forma organizada y estructurada. Además, el software puede ser expandido con la opción de mapeo elemental y barrido lineal.
Mejoras
El mapeo de elementos revela la distribución de elementos dentro de la muestra. Para ello, el usuario puede seleccionar los elementos, la resolución de píxel y el tiempo de recolección. Un algoritmo de mapeo en tiempo real va mostrando el crecimiento de los mapas de los elementos seleccionados, y almacenando a la vez los espectros de cada píxel. Esto permite agregar o quitar elementos en cualquier momento, durante el proceso de mapeo o después. La posibilidad de mezclar cualquier número de elementos con la imagen óptica le permite al usuario ver claramente la distribución de elementos dentro de la muestra.
El mapeo puede realizarse tanto en la imagen completa como en un área seleccionada (SA). Se puede seleccionar cualquier área rectangular de la imagen.
El barrido lineal permite realizar el análisis barriendo una línea fácilmente seleccionable por el usuario. El número de puntos y el tiempo dedicado a cada uno de ellos se pueden seleccionar en forma individual. En pantalla se muestra el perfil lineal de todos los elementos seleccionados, y los resultados son fácilmente informados y exportables a través de plantillas automáticas. Así se puede realizar una larga secuencia de múltiples análisis sin necesidad de la intervención del usuario.
Especificaciones
Medidas y peso
| Módulo de toma de imágenes | 286(ancho) x 566(prof.) x 495(alt.) mm, 50 kg |
|---|---|
| Bomba de vacío de diafragma | 145(ancho) x 220(prof.) x 213(alt.) mm, 4,5 kg |
| Alimentación | 156(ancho) x 300(prof.) x 74(alt.) mm, 3 kg |
| Monitor | 375(ancho) x 203(prof.) x 395(alt.) mm, 7,9 kg |
| Pro Suite | 375(ancho) x 250(prof.) x 395(alt.) mm, 9 kg |
Sistema estándar Pro Suite que incluye un monitor de 19” con una PC y router incorporado
Modos de toma de imágenes
| Óptico | Aumento: 20-135x |
|---|---|
| Electrónico | Aumento: 80-130.000x. Zoom digital máximo: 12x |
Iluminación
| Óptico | Modo de campo brillante y opaco |
| Electrónico | Fuente termoiónica de larga duración (CeB6). Selección de corriente para modos de trabajos (bajo, imagen, análisis puntual y mapeo) |
| Potenciales de aceleración | 5 kV, 10 kV y 15 kV modo imagen y análisis |
| Resolución | ≤ 14 nm |
Detección digital de imágenes
| Óptico | Cámara de navegación a color |
| Electrónico | Detector de electrons retrodifundidos de alta intensidad (modos composicional y topográfico) |
| Formato de imagen | JPEG, TIFF, BMP |
| Opciones de resolución | 456 x 456 píxeles, 684 x 684 píxeles, 1024 x 1024 píxeles, 2048 x 2048 píxeles |
| Almacenamiento de datos | Memoria USB, Red, PC Pro Suite |
| Plataforma de muestreo | Controlada digitalmente con motorización X e Y |
| Tamaño de muestra | 32 mm (Ø); 100 mm (h) |
| Tiempo de carga de muestra | Óptico: < 5 seg. Electrónico: < 30 seg. |
Detector
| Tipo | Silicon Drift Detector (SDD). Thermoelectrically cooled (LN2 free) |
| Área activa | 22 mm2 |
| Ventana de rayos X | Ventana ultradelgada de nitruro de silicio (Si3N4) que permite la detección de elementos de C a Am |
| Resolución en energía | Mn Kα ≤ 140 eV |
| Procesamiento | Analizador multi-canal con 2048 canales a 10 eV por canal |
| Frecuencia máxima de conteo | 300.000 cps |
| Integración de hardware | Completa |
| Software | Integrado en Phenom Pro Suite. Identificación automática de picos. Deconvolución extractiva iterativa del pico. Funciones de exportación: CSV, JPG, TIFF, ELID, EMSA |
| Reportes | Formato DOCX |
Mapeo de elementos
| Selección de elementos | 10 mapas individuales personalizados, más imagen mixta y difuminada. Área seleccionada de cualquier tamaño, rectangular |
|---|---|
| Resolución | 16x16 - 512x512 píxeles |
| Tiempo de permanencia en píxel | 10 – 250 mseg. |
Barrido lineal
| Resolución | 16 - 512 píxeles |
|---|---|
| Tiempo de permanencia unitario | 50 – 250 mseg. |
| Número de líneas total | 12 |
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